產品資料
日本shibaura電機直聯式油旋轉真空泵
產品名稱: 日本shibaura電機直聯式油旋轉真空泵
產品型號: DRP系列
產品特點: 日本shibaura電機直聯式油旋轉真空泵DRP系列的特點兩段式，極限壓力低采用電機直接連接方式，結構緊湊，輕便，粉塵少，可以保持清潔的環(huán)境。低振動和低噪音維修方便強大的氣鎮(zhèn)閥（蒸汽處理閥）可抵抗蒸汽和可冷凝氣體的排放
日本shibaura電機直聯式油旋轉真空泵 的詳細介紹
日本shibaura電機直聯式油旋轉真空泵
使用例
- 濺射設備
- 氣相沉積設備
- 各種等離子設備
- 真空爐
- 各種真空測試設備
DRP系列陣容
| 模型 | 單元 | DRP-180YⅡ | DRP-360YⅡ | DRP-360Ⅲ |
|---|---|---|---|---|
| 施工 | 包括轉子葉片式兩級 氣鎮(zhèn)閥 | |||
| 設計抽速 | 50 Hz，L /分鐘 | 150 | 300 | 300 |
| 60 Hz，L /分鐘 | 180 | 360 | 360 | |
| 極限壓力 | 帕 | 2.7×10 -2（* 2） | 2.7×10 -2（* 2） | 6.7×10 -2（* 2） |
| 所需馬達 | ACV，相，kW | 200、3、0.4（* 3） | 200、3、0.75（* 3）（* 4） | 200、3、0.73（* 3）（* 5） |
| 錄取 | NW25（* 6） | NW25（* 6） | NW25（* 6） | |
| 排氣口 | PS1 | PS1 | PS1 | |
| 用油 | TSR-1200 | TSR-1200 | TSR-1200 | |
| 油量 | 大號 | 0.8 | 1.2 | 1.5 |
| 尺寸（* 1） | 寬x深x高（毫米） | 261 x 494.5 x 209 | 261 x 572 x 172 | 260 x 503 x 176 |
| 質量（* 1） | 公斤 | 27 | 38 | 34 |
| 水處理量 | 升/小時 | 0.2 | 0.4 | 0.4 |
| 噪聲 | 50 Hz，分貝（A） | 60 | 61 | 58 |
| 60 Hz，分貝（A） | 63 | 64 | 61 | |
| 振動 | 振幅0.05mm以下 | |||
| 冷卻方式 | 強制冷卻（風冷） | |||
| 模型 | 單元 | DRP-800 | DRP-1500 | |
| 施工 | 包括轉子葉片式兩級 氣鎮(zhèn)閥 | |||
| 設計抽速 | 50 Hz，L /分鐘 | 700 | 1,250 | |
| 60 Hz，L /分鐘 | 840 | 1,500 | ||
| 極限壓力 | 帕 | 6.7×10 -2（* 2） | 6.7×10 -2（* 2） | |
| 所需馬達 | ACV，相，kW | 200、3、1.5（* 3）（* 4） | 200、3、2.2（* 3）（* 4） | |
| 錄取 | VG50 | VG50 | ||
| 排氣口 | PS1 1/2 | PS2 | ||
| 用油 | TSR-1200 | TSR-1200 | ||
| 油量 | 大號 | 2.3 | 3.5 | |
| 尺寸（* 1） | 寬x深x高（毫米） | 441 x 608 x 237 | 496 x 721.5 x 253 | |
| 質量（* 1） | 公斤 | 67 | 96.5 | |
| 水處理量 | 升/小時 | 0.8 | 1.5 | |
| 噪聲 | 50Hz，分貝（A） | 63 | 73 | |
| 60Hz，分貝（A） | 67 | 76 | ||
| 振動 | 振幅0.05mm以下 | |||
| 冷卻方式 | 強制冷卻（風冷） | |||
* 1表示包括底座，電機等在內的設定值。
* 2用MacLeod真空計測量
* 3全
封閉式風扇電機* 4 IE3規(guī)格
* 5 CE規(guī)格（相當于IE1）
* 6可選
[DRP-180YII]真空保持型
![[DRP-180YII]真空保持型](https://www.shibaura.co.jp/eletec/images/products/vacuum/rp/img01.jpg)
[DRP-360YII]真空保持型
![[DRP-360YII]真空保持型](https://www.shibaura.co.jp/eletec/images/products/vacuum/rp/img02.jpg)
電機符合相關法規(guī)（IE3）
[DRP-360Ⅲ]自動泄漏型
![[DRP-360Ⅲ]自動泄漏型](https://www.shibaura.co.jp/eletec/images/products/vacuum/rp/img03.jpg)
CE規(guī)格電機（IE1）
[DRP-800]
![[DRP-800]](https://www.shibaura.co.jp/eletec/images/products/vacuum/rp/img04.jpg)
電機符合鼎級法規(guī)（IE3）
[DRP-1500]
![[DRP-1500]](https://www.shibaura.co.jp/eletec/images/products/vacuum/rp/img05.jpg)
電機符合相關法規(guī)（IE3）
*規(guī)格和建議零售價如有變更，恕不另行通知。
預防措施
- 我們的油旋轉真空泵是根據以下用途設計和制造的。
（1）吸入氣體的種類空氣和惰性氣體（N 2，CO 2，He，Ne，Ar，Xe，Rn ? ? ?）
（2）吸入氣體的溫度5-40 ℃
（3）環(huán)境溫度5? 40°C
（4）常壓泵壓約1.3×10 2 Pa以下
（5）其他真空和大氣重復的頻率低。切勿吸入水等液體。
*如果條件與上述條件不同，請與我們聯系。 請注意，如果將標準規(guī)格的真空泵用于以下目的，將會縮短其使用壽命。
（1）腐蝕性氣體（Cl 2，CCl 4，CF 4，BBr 3，HBr···）
[示例]
即使在特殊規(guī)格的真空泵中，也進行離子注入，蝕刻，CVD等操作，易燃，易揮發(fā)請勿吸入該物質。
（2）排放大量水蒸氣，化學物質，溶劑，粉末等。
（3）工作壓力為1.3 kPa以上時。
（4）真空和大氣的頻率高時。
（5）請勿吸入氨氣。
日本shibaura電機直聯式油旋轉真空泵
相關產品
在線客服