日本shibaura芝浦機(jī)電皮拉尼真空計(jì)多離子規(guī)

在將常規(guī)方法的多種原理組合到一個外殼中的復(fù)雜真空計(jì)中，“單個手寫筆需要*更換手寫筆”，“手寫筆很復(fù)雜且容易出現(xiàn)故障”和“手寫筆”我經(jīng)常聽到客戶的反饋，例如“昂貴”。
這種方法可以進(jìn)行寬帶測量，顯著降低運(yùn)行成本，并支持低環(huán)境負(fù)荷。

GMi系列的特點(diǎn)

• 廣域測量可以測量
  從大氣壓到高真空區(qū)域（10 ⁵至5 x 10 ^-8 Pa）（當(dāng)同時使用GPM和GAM時）
• 可以連接不同測量范圍的放大鏡
  通過采用多離子規(guī)，可以根據(jù)應(yīng)用選擇測針
• 準(zhǔn)確的大氣壓測量可以
  輕松，準(zhǔn)確地確認(rèn)大氣壓（使用GAM時）
• 支持低環(huán)境負(fù)荷由于
  只能根據(jù)需要更換觸控筆，因此可以降低運(yùn)行成本。
• 
  配備可檢查異常情況的LED，以提高可見度
• 
  易于更換可維護(hù)的手寫筆
• 每種模式規(guī)格（組合模式）
  GMi + GPM（離子計(jì)+吡喃計(jì)）
  GMi + GPM + GAM（離子計(jì)+吡拉尼計(jì)+大氣壓傳感器）
• 測量值輸出信號
  壓力為0至10V輸出（對數(shù)輸出）
• 控制輸出信號可以進(jìn)行
  3點(diǎn)設(shè)定值輸出（GMi-1）
• 可以進(jìn)行串行通訊規(guī)格
  RS232C / RS485通訊（GMi-2）
• 符合標(biāo)準(zhǔn)
  CE標(biāo)準(zhǔn)對應(yīng)

用

• 用于各種制造設(shè)備（例如太陽能電池，F(xiàn)PD，半導(dǎo)體和電子零件）的高真空區(qū)域中的過程控制
• 通過串聯(lián)型和單晶圓型等多個處理室，確認(rèn)各種制造設(shè)備的高真空區(qū)域的極限壓力
• 高真空/超高真空設(shè)備的壓力測量

規(guī)范

每種模式規(guī)格

GMi-1 / GMi-2可以從三種使用類型中選擇：多離子表單模，帶吡拉尼表的組合模式以及帶吡拉尼表和大氣壓傳感器的三重組合模式。

模式	GMi-1 / GMi-2 獨(dú)立模式	GMi-1 / GMi-2 + GPM 組合模式	GMi-1 / GMi-2 + GPM + GAM 組合模式
測量壓力范圍	5×10 -8?1 ×10 1帕	5×10 -8?1 ×10 4帕	5×10 -8?1 ×10 5帕
測量精度	5×10 -8至1×10 1 Pa±15％	5×10 -8?1×10 3帕：±15％ 1×10 3?3.0×10 3帕：±30％ 3.0×10 3?1.0×10 4帕：沒有精度保證	5×10 -8?1×10 3帕：±15％ 1×10 3?3.0×10 3帕：±30％ 3.0×10 3 ?1.0×10 4帕：沒有精度保證 1.0×10 4?1.0× 10 5 Pa：±3％FS  （3 x 10 3 Pa，參考溫度25°C）
重復(fù)精度	1 x 10 -6至1 x 10 -1 Pa：Pa±2％
接線圖（示例）

外形尺寸

單位：mm 
*規(guī)格或建議零售價如有變更，恕不另行通知。

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